一、電子行業(yè)潔凈室特點

(1)溫濕度要求精度高。對于電子產(chǎn)品而言，其生產(chǎn)制造工藝對溫度以及濕度等環(huán)境因素的變化非常的敏感，在潔凈室的空氣參數(shù)應(yīng)當按照規(guī)定進行嚴格控制。

(2)換氣次數(shù)以及新風量大。在生產(chǎn)和制造電子產(chǎn)品時，通常會用到很多的化學物品，而且會產(chǎn)生非常多的廢氣，應(yīng)當從室內(nèi)排出。實踐中，為了能夠有效確保室內(nèi)正壓以及衛(wèi)生條件達標，應(yīng)當大量補充新風。

(3)空調(diào)冷負荷大而且濕負荷小，所以熱濕比近似無窮大。在電子行業(yè)領(lǐng)域，潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備生產(chǎn)過程中發(fā)熱量較大，工作人員通常會穿著密封的防塵服。工藝生產(chǎn)環(huán)境下，為了能夠有效減少發(fā)生靜電現(xiàn)象，應(yīng)避免空氣過于干燥。由此設(shè)計過程中空調(diào)系統(tǒng)在處理室內(nèi)回風時應(yīng)該盡可能避免是減濕過程。

二、新風量的確定

(1)人員衛(wèi)生所需的新鮮空氣量

潔凈室內(nèi)的工作人員吸入氧氣呼出二氧化碳。在此過程中，若無良好的新風環(huán)境，則必然會導致工作人員因缺氧而頭暈、煩燥，不利于工作和安全。所以空調(diào)凈化系統(tǒng)中滿足人員衛(wèi)生要求的新鮮空氣量不小于40m³/(h人)。

(2)排風量

電子潔凈廠房一般都伴有工藝需求的排風，為了平衡這部分排至室外的空氣量，凈化系統(tǒng)需要補償相應(yīng)的新風量。

(3)維持正壓所需新風量

為防止室外或相鄰的其他用途房間的空氣滲入空調(diào)凈化車間，干擾其潔凈度或溫、濕度，為了保證潔凈室一定正壓要求的空氣量將由室外新風來補充，這部分新風量計算主要有縫隙法及換氣次數(shù)法。

(4)滿足總風量一定比例的新風量

根據(jù)實際項目經(jīng)驗，考慮到潔凈空調(diào)系統(tǒng)中空調(diào)機組和送風管道內(nèi)正壓較高，送風管由于安裝施工原因，不可避免的會有或多或少的漏風率，為了安全起見，特別是在醫(yī)藥等行業(yè)，新風量的比例應(yīng)滿足非單向流潔凈室總風量的10%~30%，單向流潔凈室總風量的2%~4%。這時候如果潔凈室人員少，工藝排風少，正壓也足夠，按比例計算的新風量大于系統(tǒng)的需求時，就應(yīng)該增加潔凈空調(diào)的排風量來作為應(yīng)對措施。

(5)潔凈空調(diào)系統(tǒng)中新風量的確定

潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取以下三項中的最大值：

a.補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和；

b.保障供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40 m³；

c.滿足總風量一定比例的新風量。

三、新風凈化及熱濕處理

對于面積大且潔凈度(百級或千級)要求較高的電子工業(yè)廠房來說，如果采用經(jīng)典的一次回風空氣處理機組的形式，該系統(tǒng)風管系統(tǒng)占用的空間，費用較大，同時還要占用非常大的空調(diào)機房面積，往往工藝廠房無法滿足要求。在電子潔凈廠房中，大部分房間的室內(nèi)產(chǎn)濕量很小，而設(shè)備發(fā)熱量很大，室內(nèi)空氣熱濕比無窮大，在焓濕圖中為一條豎直的線；因而從投資、管理、節(jié)能等方面考慮，建議采用新風集中處理與干表冷加風機過濾單元相組合的方式。

新風機組空氣處理過程：新風經(jīng)過初效過濾后進入表冷盤管，冷盤管降溫除濕將新風處理到潔凈室露點溫度后進入加熱盤管，然后進入二次加熱盤管和加濕段，保證潔凈房空氣溫濕度恒定在設(shè)計要求范圍內(nèi)，最后由風機將處理的新風送到中效和高效送風段，經(jīng)過風管將空氣送到潔凈室的天花頂?shù)撵o壓箱中，和潔凈室的回風混合，通過風機過濾段單元送到潔凈室內(nèi)。

在冬季室外氣溫較低的北方地區(qū)新風往往要預(yù)熱，不然與一次回風直接混合的時候很有可能產(chǎn)生冷凝水：潔凈車間一般部有濕度要求，冬季處理過程往往需要加濕空氣，因此增大了加濕負荷。夏季新風含濕量高，溫度也高，與回風直接混合后，有可能需要多級多排的表冷器來處理，大大加大了空調(diào)機組表冷器負擔。然而新風集中處理系統(tǒng)，減少了大量循環(huán)風的輸送能耗，降低了空調(diào)箱的風機壓頭，節(jié)省了空調(diào)房間面積，避免了能源的浪費。新風作為潔凈室控制的重要污染源，集中預(yù)處理可以強化新風的過濾和便于管理，為潔凈室運行提供更安全的保障。

采用新風集中處理方式中，新風處理到室內(nèi)送風露點，以滿足潔凈室的濕度要求。處理后新風通過風管送至吊頂靜壓箱內(nèi)。這樣使?jié)崈艨照{(diào)系統(tǒng)的濕度和溫度分別由新風處理機組和干表冷盤管來負責，使溫度和濕度控制具有獨立性及可操作性，尤其是在潔凈室內(nèi)新風量變化時其優(yōu)越性體現(xiàn)得更為明顯。

四、新風節(jié)能運行控制方案

(1)新風機組采用變頻風機，由總送風管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入新風機組的新風管.上均設(shè)置電動調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風量的變化而變化，電動調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)新風機組的風機頻率，來控制新風機組的總送風量。

(2)控制新風機組送風狀態(tài)點，使其與潔凈房間的送風露點相同，這樣就可以保證凈化車間的濕度要求。根據(jù)送風狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)加濕器的電動執(zhí)行機構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度：露點溫度“DPT”由檢查室內(nèi)濕度敏感元件“HE”連續(xù)整定。

(3)凈化生產(chǎn)車間的溫度是由干表冷盤管保證的，經(jīng)新風處理機處理后的空氣狀態(tài)為潔凈房間的送風露點，新回風混合點一定在該潔凈房間的熱濕比線上，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)干盤管上的電動二通閥的開度，控制加熱和制冷量，實現(xiàn)室內(nèi)溫度控制。

一般情況下，在電子潔凈廠房中，大部分潔凈室溫濕度要求基本都相同而且也允許一定范圍的波動，這些車間都可以使用新風集中處理系統(tǒng)。但在某些車間具有很大的室內(nèi)產(chǎn)濕量，其熱濕比線并不是一條豎直的直線，采用新風集中處理系統(tǒng)就無法滿足要求，應(yīng)該根據(jù)實際需求考慮其它合理空氣處理方式。

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